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一种远距离高精度的对中调试装置及其调试方法制造方法及图纸
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下载一种远距离高精度的对中调试装置及其调试方法的技术资料
文档序号:17908840
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本发明公开了一种远距离高精度的对中调试装置及其调试方法,激光远距离传播后首先透过散射片发生漫反射形成散射场,再通过镜头成像对激光光束进行整形,形成光斑直径小、无衍射条纹、能量均匀稳定的圆形光斑。光斑位置检测采用高精度二维光电位置传感器PSD...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。
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