下载一种提高压缩机滑片减摩耐磨性的薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:17903084

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本发明涉及一种提高压缩机滑片减摩耐磨性的薄膜,位于压缩机滑片基体的弧面,所述的薄膜为四层结构,自所述压缩机滑片基体起,第一层是金属单质薄膜结合层,第二层是金属氮化物薄膜过渡层,第三层是金属碳化物薄膜过渡层,第四层为类石墨碳膜层。具有高硬度、...
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