下载光气分布器的技术资料

文档序号:17892384

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本实用新型公开了一种光气分布器,包括延伸进光化釜内的进气管,还包括一个分配阀;所述分配阀为五通结构,包括一个设置在底部的进气口和四个设置在侧面的水平出气口;所述进气口与进气管连接,左右两个水平出气口与气体分配母管连接;前后两个水平出气口与气...
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