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直接接合机制造技术
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下载直接接合机的技术资料
文档序号:17884043
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一种根据本实用新型的示例性实施例的直接接合机包括:托台和支承构件,支承构件遮盖托台的至少一侧并联接至所述托台,其中,所述支承构件以使第一接合对象和第二接合对象相互间隔开的状态支承第一接合对象和第二接合对象,并且支承构件的至少一部分由于真空受...
该专利属于塔工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过塔工程有限公司授权不得商用。
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