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本发明涉及一种SiGe材料CMOS器件，包括：Si1‑xGex/Si虚衬底(101)；Si1‑xGex沟道层(102)，设置于所述Si1‑xGex/Si虚衬底(101)上；介质层(103)，设置于所述Si1‑xGex沟道层(102)上；隔离...该专利属于西安科锐盛创新科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安科锐盛创新科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种SiGe材料CMOS器件，包括：Si1‑xGex/Si虚衬底(101)；Si1‑xGex沟道层(102)，设置于所述Si1‑xGex/Si虚衬底(101)上；介质层(103)，设置于所述Si1‑xGex沟道层(102)上；隔离...