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一种基于场发射阴极电子源的电离真空计及其应用方法技术
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文档序号:17881446
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本发明公开了一种基于场发射阴极电子源的电离真空计及其应用方法,本发明公开了一种基于场发射阴极电子源的电离真空计,该真空计包括场发射电子源、离子收集极、电子振荡收集极、和圆筒外电极等。从场发射阴极发射出的电子流,以一定能量进入电离区域轰击真空...
该专利属于温州大学所有,仅供学习研究参考,未经过温州大学授权不得商用。
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