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NO2化学电阻式气体传感器及其制备方法技术
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文档序号:17876675
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本发明涉及一种NO2化学电阻式气体传感器,包括自下而上依次设置的基底、绝缘层、表面修饰层、活性敏感层以及源漏电极,表面修饰层的材质为含端氨基的硅烷化合物,含端氨基的硅烷化合物的分子式为H2N‑(CH2)n‑SiCl3,H2N‑(CH2)n‑...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。
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