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全压力微小泄漏精密测量系统技术方案
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文档序号:17876040
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本发明属于测量技术领域,具体涉及一种全压力微小泄漏精密测量系统。由球阀、截止阀、三通密封阀、高精度差压规及仪表控制单元、计时器、真空泵、定容室、配气室、气瓶与管路接头组成,采用球阀通过管路将已知容积的定容室与配气室连接,利用截止阀连接高精度...
该专利属于西安航天计量测试研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西安航天计量测试研究所授权不得商用。
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