下载陀螺传感器、陀螺传感器的制造方法、电子设备及移动体的技术资料

文档序号:17875730

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本发明提供一种陀螺传感器、陀螺传感器的制造方法、电子设备及移动体。所述陀螺传感器的特征在于,具有:基板;固定部,其被固定在所述基板上;驱动部,其在沿着第一轴的第一方向上进行驱动;质量部,其与所述驱动部连接,并沿着所述第一方向进行位移;检测部...
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