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陀螺传感器、陀螺传感器的制造方法、电子设备及移动体技术
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文档序号:17875730
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本发明提供一种陀螺传感器、陀螺传感器的制造方法、电子设备及移动体。所述陀螺传感器的特征在于,具有:基板;固定部,其被固定在所述基板上;驱动部,其在沿着第一轴的第一方向上进行驱动;质量部,其与所述驱动部连接,并沿着所述第一方向进行位移;检测部...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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