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本实用新型涉及一种光感应自动送粉装置,包括送粉器和冷坩埚,送粉器设置在冷坩埚正上方,还包括光强传感器、升降支架、控制升降支架升降的升降机构和PLC控制器;冷坩埚固装在升降支架的底水平部上,在靠近冷坩埚侧的升降支架的上部设置用于感测冷坩埚口光...该专利属于睿为电子材料(天津)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过睿为电子材料(天津)有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种光感应自动送粉装置,包括送粉器和冷坩埚,送粉器设置在冷坩埚正上方,还包括光强传感器、升降支架、控制升降支架升降的升降机构和PLC控制器;冷坩埚固装在升降支架的底水平部上,在靠近冷坩埚侧的升降支架的上部设置用于感测冷坩埚口光...