下载一种蓝宝石衬底研磨废液中碳化硼高效循环再利用装置的技术资料

文档序号:17866563

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本发明公开了一种蓝宝石衬底研磨废液中碳化硼高效循环再利用装置,包括:筛分清洗模块、滤液循环回收处理模块和PLC控制模块。其中筛分清洗模块主要包括筛分清洗罐、筛网Ⅰ、超声波清洗器、盛装乙醇和盐酸容器,用于对研磨废液中符合粒径要求的碳化硼的筛分...
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