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一种动态自平衡结构制造技术
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下载一种动态自平衡结构的技术资料
文档序号:17866449
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一种动态自平衡结构,属于基于微机电系统(MEMS)的自动控制技术领域,包括上基板,在上基板的顶面设置四个电阻条、四个双端固支悬挂电极和四个上基板顶面接地电极;在上基板的底面设置四个下拉电极上电极、四个分压电阻、环形直流偏置电极和上基板底面环...
该专利属于扬州大学所有,仅供学习研究参考,未经过扬州大学授权不得商用。
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