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一种基于仿生基底的宽频带式声表面波分选芯片制造技术
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下载一种基于仿生基底的宽频带式声表面波分选芯片的技术资料
文档序号:17860883
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本发明公开了一种基于仿生基底的宽频带式声表面波分选芯片。该芯片由压电基底,宽频带式叉指换能器和分选流道系统组成,其中叉指换能器和分选流道系统呈一定角度布置在压电基底上,且分选流道底部制作成类似于簸箕筛动面凹凸有致的结构。分选流道包括入口流道...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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