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涉及一种电子多种类气体感测设备和微电子空气质量监测器。微电子空气质量监测器包括被调节为用于检测不同气体种类的多个感温气体传感器。通过对相邻加热器进行编程来调节每个气体传感器。形成在该传感器下方的绝缘气穴有助于将传感器保持在所期望温度。温度传...
该专利属于意法半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体有限公司授权不得商用。

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