下载用于非接触式机械测量装置的高精度多向测量组件的技术资料

文档序号:17842066

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本实用新型公开了一种用于非接触式机械测量装置的高精度多向测量组件,包括固定座、滑移板、传感器安装杆、X轴驱动组件、Y轴驱动组件和Z轴驱动组件,滑移板安装在固定座上并能够自由滑动且与Z轴驱动组件连接;X轴驱动组件包括安装杆导向座、X轴驱动电机...
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