温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种动态形变可控微镜镜面梳齿结构及其加工方法，包括如下步骤：步骤一，准备晶圆；步骤二，形成微镜镜面、静梳齿和动梳齿的平面排布区；步骤三，覆盖所述步骤二中形成的缝隙；步骤四，露出包含动梳齿、微镜镜面和联通所述动梳齿的焊盘区域的第一区...
该专利属于无锡英菲感知技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡英菲感知技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。