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本实用新型公开了一种用于真空设备的电磁过滤装置，包括真空腔体和电源系统，所述真空腔体的一端设置一管道，所述管道连接电源系统，所述管道内部设置有电磁线圈。本实用新型为研发大型DLC‑2800超硬纳米薄膜涂层设备中的抽真空系统电磁过滤装置，通过...
该专利属于昆山立特纳米电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山立特纳米电子科技有限公司授权不得商用。

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