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一种用于硬脆材料的超短脉冲激光切割设备，包括机架、工作台、夹具、激光器组件以及相对于工作台在第一方向、第二方向和第三方向运动的三维运动机构，第一方向、第二方向和第三方向两两垂直，工作台安装在机架上，夹具安装在三维运动机构上，激光器组件包括超...
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