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一种鳍式场效应管及其形成方法，形成方法包括：在源漏掺杂区、侧墙以及栅极结构顶部上形成金属层；对所述金属层进行反应退火处理，使得位于所述源漏掺杂区上的金属层发生化学反应转化为金属接触层；在进行所述反应退火处理之后，去除未发生化学反应的金属层；...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。