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一种基于复合电容式结构的材质识别传感器及其制备方法技术
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文档序号:17811190
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本发明一种基于复合电容式结构的材质识别传感器及其制备方法,结构简单,体积小,成本低,能同时测量介电常数和弹性模量进行材质识别。传感器包括两个相对设置的第一极板和第二极板,与第一极板相对的至少两个第一电极,与第二极板相对的至少一个第二电极;制...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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