下载一种基于复合电容式结构的材质识别传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:17811190

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本发明一种基于复合电容式结构的材质识别传感器及其制备方法,结构简单,体积小,成本低,能同时测量介电常数和弹性模量进行材质识别。传感器包括两个相对设置的第一极板和第二极板,与第一极板相对的至少两个第一电极,与第二极板相对的至少一个第二电极;制...
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