温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种基于表面等离激元共振效应的氢气传感微结构，主要由衬底、铬薄膜、银薄膜、介质薄膜、钯薄膜、一个直线型狭缝以及两个直线型凹槽阵列构成。其中铬薄膜、银薄膜、介质薄膜与钯薄膜依次附着在衬底上，形成多层复合薄膜；直线型狭缝位于多层复薄...
该专利属于中国船舶重工集团公司第七一五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国船舶重工集团公司第七一五研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。