下载一种基于倒阱工艺的功率MOSFET器件及其制造方法的技术资料

文档序号:17797630

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本发明公开了一种基于倒阱工艺的功率MOSFET器件及其制造方法,它包括衬底材料,所述衬底材料上覆盖有第一外延层;第一外延层上覆盖有第二外延层;体区位于第一外延层和第二外延层之间;体区的上部二侧为源区;本发明一方面增加了体区的结面积,从而最大...
该专利属于贵州大学所有,仅供学习研究参考,未经过贵州大学授权不得商用。

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