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一种基于横向沟道调制的增强型场效应晶体管及其制作方法技术
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下载一种基于横向沟道调制的增强型场效应晶体管及其制作方法的技术资料
文档序号:17797621
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本发明提供了一种基于横向沟道调制的GaN基增强型场效应晶体管,主要解决现有同类器件由隧穿引起的漏电和阈值电压不足的问题。其自下而上包括衬底、AlN成核层、GaN缓冲层和AlGaN势垒层,AlGaN势垒层的两端设有源电极和漏电极,源电极和漏电...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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