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一种用于检测电磁信号的飞行时间的光学传感器装置,包括半导体衬底,半导体衬底具有将电磁信号的至少一部分转换为光生电荷载流子的转换区。深控制电极形成在延伸到半导体衬底中的沟槽中。深控制电极比浅控制电极更深地延伸到半导体衬底中。控制电路被配置为向...该专利属于英飞凌科技股份有限公司;PMD科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司;PMD科技股份有限公司授权不得商用。