下载一种直拉法制备单晶硅的方法的技术资料

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本申请属于单晶硅生产技术领域,具体涉及一种直拉法制备单晶硅的方法,单晶炉完成硅料熔化之后,单晶炉加热功率快速下降,温控器控制单晶炉的炉内温度稳定后,籽晶接触液面后引颈,引颈一定高度后,无位错开始放肩,放肩后长晶,单晶炉加热功率分步逐降,长晶...
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