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本发明涉及一种薄膜蒸镀的装置，由真空腔体、蒸发源、样品台、冷凝装置、真空获得装置、供气装置及插板阀组成。本发明采用不锈钢腔壁，使用分子泵+机械泵的抽气装置，本底真空可达到10...
该专利属于江南石墨烯研究院;常州碳维纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江南石墨烯研究院;常州碳维纳米科技有限公司授权不得商用。

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