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本发明公开了一种利用振荡压力烧结法制备氮化硅陶瓷的工艺，其工艺步骤包括：a、氮化硅混合粉体填装，氮化硅混合粉体包括重量份为85%‑90%氮化硅粉体、10%‑15%烧结助剂，烧结助剂包括氧化铝粉体、氧化钇粉体；b、抽真空处理后充入保护气体；c...
该专利属于东莞理工学院所有，仅供学习研究参考，未经过东莞理工学院授权不得商用。

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