下载一种线性宽幅等离子清洗装置的技术资料

文档序号:17786402

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本实用新型公开了一种线性宽幅等离子清洗装置,包括底座,所述底座的一端固定连接有真空炉壳体,所述真空炉壳体的一端嵌设有气压控制阀,所述气压控制阀的一侧设有第二转轴,所述第二转轴的一端穿过真空炉壳体的一端设有第一电机,所述第一电机的一端固定连接...
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