下载阻容变形传感器的技术资料

文档序号:17785667

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一种变形感测设备,包括:弹性基底,形成在弹性基底的第一表面上并且被配置为响应于沿第一方向施加的应变而输出第一信号的第一应变计元件,以及形成在弹性基底的与第一表面相对的第二表面上并且被配置为响应于沿相同的第一方向施加的应变而输出第二信号的第二...
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