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本发明提供一种体声波谐振器及其制造方法，所述体声波谐振器包括：膜层，设置在基板上并且形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极上；上电极，设置在所述压电层上，并且包括框架部，所述框架部设置在有效区域的边缘处并且具有比所述上电...
该专利属于三星电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电机株式会社授权不得商用。

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