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本发明涉及微波等离子体增强化学气相沉积技术领域的波导同轴转换器，尤其是一种用于微波等离子体增强化学气相沉积装置，可支持微波高效率传输、低电极污染的矩形波导同轴转换器。由馈入波导、聚四氟乙烯挡板、矩形波导腔、渐变角锥铜块、水冷铝块、通风圆波导...
该专利属于中国人民解放军国防科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。

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