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一种针对长波段微弱光的CMOS单光子雪崩二极管制造技术
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下载一种针对长波段微弱光的CMOS单光子雪崩二极管的技术资料
文档序号:17782308
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本发明请求保护一种针对长波段微弱光的CMOS单光子雪崩二极管,具体结构是:在P型衬底上制作深N阱,然后在深N阱内制作P型重掺杂区,由P+层与深N阱构成PN结,作为雪崩倍增区,P+区周围环绕轻掺杂P阱作为保护环,入射光射入器件后在中等电场强度...
该专利属于重庆邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆邮电大学授权不得商用。
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