下载密封环结构、半导体器件及电子装置的技术资料

文档序号:17782165

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本发明提供一种密封环结构、半导体器件及电子装置,该密封环结构包括围绕集成电路区设置的第一密封环,所述第一密封环包括多层层叠设置的介质层,以及设置于所述介质层中并与所述介质层齐平的金属层,在所述介质层中还设置有填充有导电材料的介层孔,用于实现...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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