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本发明涉及半导体制作工艺技术领域，具体涉及一种基于托盘的晶圆定位方法及系统，其中，一种基于托盘的晶圆定位方法，包括：获取预制的托盘位置数据及容纳所述晶圆的凹槽位置数据；根据所述托盘位置数据和所述凹槽位置数据形成标准数据组；获取匹配所述托盘及...
该专利属于中晟光电设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中晟光电设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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