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本发明公开了一种全自动硅片清洗模组，包括位于槽体一侧的上料位，上料位包括支撑板、固定连接在支撑板上面供花篮在上面滑动的导轨以及推动花篮沿导轨滑向槽体的气压缸，导轨上可并排放置的花篮数量为两个以上；支撑板上面两端均设有红外感应器，分别用于在花...
该专利属于北京南轩兴达电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京南轩兴达电子科技有限公司授权不得商用。

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