下载双极晶体管的制作方法的技术资料

文档序号:17782113

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本发明涉及一种双极晶体管的制作方法。所述制作方法在形成发射极多晶硅与基极多晶硅之间的隔离侧墙时,包括以下步骤:在所述氧化层及所述第一氧化硅上依序形成氮化硅层、第二多晶硅层及TEOS层,对所述TEOS层进行回刻,从而去除所述第二多晶硅层上的部...
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