下载一种高精度微纳尺寸二维材料电极制备方法的技术资料

文档序号:17782107

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本发明公开了一种高精度微纳尺寸二维材料电极制备方法,该方法的步骤:将二维材料转移至带预置电极的硅衬底;将其放在显微镜下观察拍照;在图像处理软件上进行图像处理后;在版图软件中打开,根据要求画上电极;通过电子束曝光制得电极。本发明成本低、效率高...
该专利属于华东师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华东师范大学授权不得商用。

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