下载一种束流准直器装置的技术资料

文档序号:17781821

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本发明公开一种束流准直器装置,包括安装在高度支撑平台上的准直器,所述准直器的真空腔内安装有准直块、准直块支撑、航空插头、绝缘块;所述真空腔前后端与束流线进行真空连接,其整体漏率小于1.0×10‑11Pa·m...
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