下载一种提取纳米MOSFET中源/漏寄生电阻的恒定迁移率方法的技术资料

文档序号:17780007

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本发明公开了一种提取纳米MOSFET中源/漏寄生电阻的恒定迁移率方法,包括以下步骤:(1)纳米CMOS器件中,测量不同源漏电压Vds条件下的阈值电压VT、线性区漏极电流Ids;(2)根据测量结果选取合适的外加偏压条件,保证沟道迁移率在该条件...
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