下载一种简易预处理室的技术资料

文档序号:17779092

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本发明公开了一种简易预处理室,包括舱体,舱体上装设有用于通入预设湿度及流量的洁净空气的进气口和用于排气的排气口,舱体的外壁上装设有至少一块能制冷和/或制热的半导体制冷片,舱体的内部装设有温度湿度传感器,半导体制冷片和温度湿度传感器分别与控制...
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