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本发明涉及一种TFT行业铜制程用高回收率环保型剥离液,包括如下质量百分比的成分,醇类1%‑2%,醚类40%‑50%、混胺类3%‑8%、低沸点有机溶剂40%~50%、缓蚀剂1%~5%、非离子型表面活性剂1%~5%和余量为纯水。该剥离液剥离速度...该专利属于江苏中德电子材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏中德电子材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种TFT行业铜制程用高回收率环保型剥离液,包括如下质量百分比的成分,醇类1%‑2%,醚类40%‑50%、混胺类3%‑8%、低沸点有机溶剂40%~50%、缓蚀剂1%~5%、非离子型表面活性剂1%~5%和余量为纯水。该剥离液剥离速度...