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一种应用于MOS器件的偏压温度不稳定性的测试方法技术
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文档序号:17778139
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本发明涉及一种应用于MOS器件的偏压温度不稳定性的测试方法,主要解决现有技术测试时栅极应力撤销后恢复效应对测量结果产生影响的技术问题。通过测试阀值电压Vth以及该阀值电压对应的漏极电流Id0,在栅极增加应力,测试应力前和应力后相同感应电压下...
该专利属于桂林电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过桂林电子科技大学授权不得商用。
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