下载一种应用于MOS器件的偏压温度不稳定性的测试方法的技术资料

文档序号:17778139

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本发明涉及一种应用于MOS器件的偏压温度不稳定性的测试方法,主要解决现有技术测试时栅极应力撤销后恢复效应对测量结果产生影响的技术问题。通过测试阀值电压Vth以及该阀值电压对应的漏极电流Id0,在栅极增加应力,测试应力前和应力后相同感应电压下...
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