下载一种中红外双狭缝波导微腔光谱气体传感器及其使用方法的技术资料

文档序号:17777654

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本发明提供一种中红外双狭缝波导微腔增强吸收光谱气体传感器及其使用方法,涉及红外检测技术领域。传感器包括,主控单元、光源模块、聚光镜、光纤、探测器、光波导微腔单元、放大滤波单元、信号采集单元。方法为光源模块产生中红外波段的光波信号,经由聚光镜...
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