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沈阳市传感技术研究所
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全悬浮绝对差压传感器制造技术
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下载全悬浮绝对差压传感器的技术资料
文档序号:17777331
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一种全悬浮绝对差压传感器,解决了用两个绝对压力传感器测量存在的误差大、造价高、安全系数小、两机不同步、信号需再处理等问题,两个电极单端悬浮的电容压力传感器相对布置,与同一环形高真空腔室相连通封接成绝对差压测量体,在高真空下形成抽真空焊口后,...
该专利属于沈阳市传感技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳市传感技术研究所授权不得商用。
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