下载硅片下料盒的技术资料

文档序号:17773544

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本实用新型提供了一种硅片下料盒,其包括竖直设置的两个侧壁、垂直侧壁设置的端壁、位于侧壁与端壁之间以承载硅片的承载板。所述承载板自内向外朝向侧壁向下倾斜设置。通过承载板的倾斜设置,可导向硅片朝向下料盒内侧边缘靠齐,硅片堆叠整齐且摩擦减小;另外...
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