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本发明公开一种蜂窝状载体表面原子层涂层装置，包括载气系统、前驱体系统、反应系统和控制系统；所述反应系统通过管路分别与载气系统和前驱体系统连接，所述反应系统上设置有进样仓，所述管路上设置有阀门；所述载气系统用于填充惰性气体，所述控制系统控制所...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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