下载一种涡轮叶片的化学气相沉积Al‑Si的方法的技术资料

文档序号:17771208

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本发明公开了一种涡轮叶片的化学气相沉积Al‑Si的方法,所述方法包括遮蔽与装夹、主反应器高压加热、Al反应器加热渗Al、气化SiCl4渗Si以及扩散热处理和冷却。通过优化气相沉积的工艺流程,先气相渗Al再渗Si,将液相SiCl4气化后进行渗...
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