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本发明公开一种具有硬度梯度层支撑的TiAlN复合超硬涂层及其制备方法，所述超硬涂层为自下到上分别为基体材料、扩伸层及沉积层的三层结构；所述基体材料为导电材料；所述的扩伸层为等离子氮碳共渗层；所述的沉积层为氮铝钛涂层。致密TiAlN超硬膜层赋...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十三研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十三研究所授权不得商用。

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