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本发明涉及用于浸没式光刻具有调节出水总有机碳的超纯水制备装置。本发明包括电子级厂务水水箱、总控纯水泵、流量控制计、总有机碳去除模块、脱气模块、其他杂质处理模块、检测模块隔膜阀、杂质检测模块、排水隔膜阀、用水隔膜阀、回水流量计和第一止回阀。本...
该专利属于浙江启尔机电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江启尔机电技术有限公司授权不得商用。

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