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本发明公开了一种硅片切割机用切削液冷却过滤系统,包括过滤系统和冷却装置,所述过滤系统的左侧上方设置有切削液进口,所述过滤系统的内部安装有过滤网,所述过滤系统在过滤网的上方设置有滤渣泵,所述滤渣泵通过导线与控制装置电性连接,所述滤渣泵通过滤渣...该专利属于无锡南理工新能源电动车科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡南理工新能源电动车科技发展有限公司授权不得商用。
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